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水平机系列
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显影蚀刻退膜连机

设备特点:

1、显影及蚀刻可独立调压的水平摇摆喷盘设计,喷洒更均匀,生产更流畅;

2、显影配置机械式(或真空式)破泡装置,避免消泡剂污染,有效减少药液浪费;

3、显影设计有全自动测显影点程式,方便生产操作使用;

4、精密补偿蚀刻(二流体)设计,有效控制水池效应,提高做板均匀性,蚀刻线宽线距:1.5mil/1.5mil,蚀刻均匀性cov≥96%,蚀刻因子≥5;

5、退膜交叉斜喷式喷淋可更有效地冲刷退净膜片;

6、圆锥滚筒式膜渣分离系统,可高效干净的收集处理膜渣。

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